電子科技大學(xué) 碩士學(xué)位論文 電子消息材料聲參數(shù)分布SLAM檢測法研究 姓名：嚴(yán)真旭 申請學(xué)位級別：碩士 專業(yè)：物理電子學(xué) 指點(diǎn)教師：王亞非 20040101 電子科技大學(xué)研究生論文 摘 要 LaserAcoustic 激光掃描聲學(xué)顯微鏡 Scanning 作為一種新型高分辯率的無損檢測儀器，以其及時(shí)成像的長處，日益在材料科 學(xué)和生物醫(yī)學(xué)科學(xué)等范疇闡揚(yáng)著十分主要的感化，該手藝及其使用研究不斷受 到科技界和工業(yè)界的普遍關(guān)心。 在電子消息科學(xué)范疇，陪伴電子器件制造工藝手藝集成化、微細(xì)化和出產(chǎn) 的數(shù)字化、大規(guī)模化，電子材料和元器件常常被設(shè)想成片式布局。本論文以片 式電子材料元器件作為無損檢測闡發(fā)對象，以提高SLAM系統(tǒng)活絡(luò)度為方針， 提出了被測樣品光學(xué)拋光掃描法；按照微波聲學(xué)中聲波在分層介質(zhì)中的理 論，細(xì)致闡發(fā)了入射聲波在拋光型分層介質(zhì)中的特點(diǎn)，成立了拋光型樣品 界面動(dòng)態(tài)波紋數(shù)學(xué)模子；在此根本上闡發(fā)了以縱波全內(nèi)反射角入射時(shí)動(dòng)態(tài) 波紋振幅與入射聲波頻次變化的關(guān)系，得響應(yīng)數(shù)學(xué)模子；同時(shí)連系界面動(dòng) 態(tài)波紋數(shù)學(xué)模子細(xì)致闡發(fā)了動(dòng)態(tài)波紋振幅與聲波入射角、樣品厚度以及入射聲 波頻次的關(guān)系，從而得出動(dòng)態(tài)波紋振幅隨入射聲波頻次周期性呈現(xiàn)主最大值、 次最大值和零值。顛末對系統(tǒng)的分析闡發(fā)，計(jì)較并獲得提高系統(tǒng)響應(yīng)的方式。 其次，使用軟件Matlab6．5對數(shù)學(xué)模子進(jìn)行數(shù)值仿實(shí)在驗(yàn)，仿實(shí)在驗(yàn)成果